我们的湿工作台系统用于各种应用的半导体化学处理、电化学处理和/或酸处理以及其他化学湿处理应用。典型的建筑材料包括聚丙烯、不锈钢、PVDF、PVC-C以及聚四氟乙烯®、PFA和ECTFE(HALAR®)根据化学处理特性,UL2360/FM4910符合标准,并符合应用要求。
半导体晶圆化学加工FM4910湿凳和通风橱
该集成的半导体湿稳压台具有罐内交叉流量,允许在敞开的顶部湿稳定板中清洁,漂洗,酸化加工和最终冲洗。
什么是UL2360/FM4910标准?
不断创新越来越小的半导体电路板和芯片需要越来越复杂的制造工艺。任何类型的洁净室污染都可能是灾难性的,火灾和烟雾造成的污染也不例外。
FM-4910指定是通过工厂相互测试的物料进行火力传播和烟雾密度。即使是过去的最先进的昂贵的灭火系统也不能包含邻近地区其他过程和产品所造成的污染。按比例提高保险成本,以保护厂商在发生火灾和群众污染的情况下变得同样昂贵,并且已经推动了湿长凳的建造,以利用较少的易燃材料并消除昂贵的灭火系统。
这洁净室材料易燃性测试协议(4910级)包含进行测试的方法。现在,湿工作台制造商和用户可以应用洁净室协议来开发能够耐火、排放少量烟雾和产生少量腐蚀性副产品的塑料材料和设备。
通过洁净室协议的材料随后,可以列出批准指南,FM认证的出版物。经工厂互助FM-4910批准并经认证的材料包括:
- 最常见
- 聚氯乙烯
- PVDF.
- 其他
- CP7-D聚丙烯
- Takiron PVC和CPVC
- Boltaron PVC
- 哈拉尔
用排气封闭半导体化学加工的湿卧位
上面封闭的半导体湿直凳允许后清洁化学加工,漂洗,硝酸中和和最终冲洗。
带后部和顶部排气的封闭式酸湿工作台罩
氮钝化,带有级联溢流冲洗站和侧流和顶部排气
集成的多级湿卧台允许通过各种洗涤,冲洗,脱氧,冲洗,电解力,酸钝化,化学晶片加工等,允许完整的部分加工等。
湿长凳和化学处理长凳的常见应用
- 半导体晶圆化学加工FM4910湿凳和通风橱
- 半导体晶圆的硝酸化学处理
- 高频(氢氟酸)半导体部件的化学处理
- 印刷电路板和硅半导体用化学方法剥离光刻胶ACT970蚀刻残留搬运工和其他
常见配置
由于湿式台式设备由高度可定制的材料制成,如聚丙烯,不锈钢,PVDF,PVC-C以及Teflon®,PFA和EctFe(Halar®),因此最好的技术能够轻松构建湿式凳以适应金博宝188亚洲体育客户特定的湿法加工化学要求。FM4910和UL2360合规需要特定的材料等级。2002年NFPA标准318采用FM 4910和UL 2360测试协议,第A.10.5.1.2节,并将该行业推动到用于制造用于易燃化学处理的设备的新材料,如上所述。我们的湿长凳可确保用于可重复表面处理过程的通风良好的工艺外壳半导体那医疗装置和航天金属零件。