半导体晶片化学加工湿台及通风柜应用案例研究
我们的半导体客户需要加工用于晶圆制造的大型金属和石英部件。用于加工的化学品包括hf -氟化氢/氢氟酸、h2no3 -碳酸和h2o,这些化学品需要使用PVDF(聚偏氟乙烯)储罐、管道和部件。整个系统是由FM4910兼容聚偏氟乙烯和聚氯乙烯。
视频:半导体化学加工湿台和通风柜
半导体化学加工湿工作台和通风柜的详细信息
垂直滑动门-开放-半导体化学加工
FM4910 PVC-C湿工作台和通风柜
滑动向上,反加重门确保容易,不受限制地进入加载部件到大型6英尺长x 3英尺宽PVDF坦克。
垂直滑动门-封闭-半导体化学处理
FM4910 PVC-C湿工作台和通风柜
当操作人员不使用化学处理罐时,化学溶液的密封门会向下滑动,进一步允许通风柜的抽气通风,从潮湿的工作台柜中清除任何烟雾。
集成PVDF罐与穿孔排水架
用hf -氟化氢/氢氟酸、h2no3 -碳酸、h2o -水加工晶片和零件;因此,该罐由化学兼容的PVDF罐构成,其倾斜排水,并有一个穿孔货架,允许部件在湿工作台通风柜内干燥。3″PDVF快速排水阀允许使用后快速排水。
硅片加工槽、N2干燥枪、DI水喷雾枪
为了正确清洗和干燥零件,在湿工作台的侧壁上安装DI水喷枪和N2干燥枪,便于零件加工时使用。除了处理陶瓷和金属部件外,PVDF晶圆加工槽也安装在多孔的PVDF架子上。
鹅颈化学水龙头的脚踏开关
每个湿工作台前的脚踏板允许手动驱动PVDF鹅颈化学和DI水龙头。
集成的化学品储存箱与溢出托盘
化学品存储托盘有独立的隔离区比其余的湿工作台。整个湿式工作台有一个四边泄漏口,泄漏检测联锁,当泄漏传感器检测到化学泄漏时,关闭主进口螺线管。罐下的整个外壳是独立隔离的,并从上面的化学处理外壳中排出。
磁螺旋测量,以确保适当的排烟率
磁螺旋计允许操作人员轻松地检查和确保通风柜抽气系统正常运行。
行业
电子、半导体,电路板